三氟化氮

分子量	熔点	沸点	临界温度	临界压力	液体密度	气体密度	CAS号
71.01	-206.8℃(1atm)	-129℃(1atm)	-39.3℃	44.02atm(4.46MPa)	1554kg/m3(1atm沸点时)	2.95kg/m3(1atm 21℃）	7783-54-2

　　包装 ( Cylinder（47L）、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、 Y-Cylinder(470L)、 ISO等)

钢瓶容积	钢瓶型号	阀门	钢瓶压力	气体质量	危规号	UN编号	包装分类	包装标志
47L、43.3L、40L、8L	DOT-3AA、GB5099	CGA330、CGA640	9.0-13.0MPa	22kg、20kg、3.4kg	23016	2451	Ⅱ	6

　　储存及运输

　　三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射，与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。

　　三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸，防止钢瓶及附件破损。

　　三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好，用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。

　　泄漏应急处理

　　如遇有三氟化氮气体泄露，工作人员要马上撤离泄漏污染区，并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒，应立即送往医院救治。

　　泄露现场要尽快处理，处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具，最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员，泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。

　　三氟化氮气体产品质量标准（QJ58-2007）

杂质	NF3≥99.995% Vol.%	NF3≥99.99% Vol.%	NF3≥99.98% Vol.%	NF3≥99.9% Vol.%
CF4	≤20 Vol.ppm	≤40 Vol.ppm	≤100 Vol.ppm	≤500 Vol.ppm
N2	≤5 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤50 Vol.ppm
O2+Ar	≤3 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤50 Vol.ppm
CO2	≤1 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm
H2O	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm
酸份（以HF计）	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm
SF6	≤1 Vol.ppm	≤2 Vol.ppm	≤2 Vol.ppm	≤25 Vol.ppm
N2O	≤1 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm
CO	≤0.5 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm

主要用途

是用作氟化氢－氟化气高能化学激光器的氟源，在h2-O2与F2之间反应能的有效部分（约25%）可以以激光辐射释放出，所HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。用作高能燃料。

工业化生产

要有两条路线,一是合成法:将氟化氢铵在镍制反应器中加热,氟气、氮气和氨通过分布器进入反应器直接氟化反应。二是电解法:在一定温度下,电解熔融的氟化氢铵,电解过程中阳极产生三氟化氮,阴极产生氢气。我国三氟化氮生产厂家的生产方法为上述两种方法。

上海尚澜新能源科技有限公司
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