韩国电子特气公司TEMC试图通过大规模投资，发力韩国电子特种气体国产化事业。气体圈子获悉，TEMC近日计划追加投资250亿韩元扩产硫化羰（COS）和CO项目，预计在2022年第一季度之前完成。羰基硫（COS）扩产后年产能从40吨扩大到140吨，CO年生产能力从3.6万立方米将扩大到10.8万立方米。羰基硫近年来广泛应用于线路微细化的蚀刻领域，在干蚀刻中的蚀刻效果十分明显。合成工厂的扩建将包括硫化羰（COS）的合成、纯化和自动分析系统。

 

▲ ATS工厂，生产 C4F6、CO、准分子激光气体、稀有气体等。

投资约150亿韩元建设的乙硼烷（B2H6）工厂BTS，未来计划追加投资100亿韩元，对现有ATS工厂追投50亿韩元。TEMC公司正努力通过稳步的技术开发和激进的投资，扩大其在特种气体领域的全球技术和竞争力，旨在通过努力将被全球气体制造商垄断的特种气体国产化。

 

▲乙硼烷（B2H6）合成装置BTS全景

TEMC首席执行官 Wonyang Yoo 表示：如果目前依赖进口的特殊气体供应因日本的出口限制和最近的全球物流危机而中断，将会对韩国半导体行业带来危机并遭受巨大损失。因此，TEMC将通过材料研发和生产扩张实现电子特种气体国产化，为韩国的半导体材料产业链做出贡献。

TEMC公司成立于2015年1月，以“特种气体完全国产化”为目标，自成立以来，保持年均增长80%以上而备受业界关注。2017年，在忠清北道报恩郡综合工业园区内的ATS工厂5127㎡共投资160亿韩元，生产C4F6、CO、准分子激光气体、稀有气体等。2020年销售额364亿韩元。

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