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同位素气体在半导体芯片中的应用
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28Si具有更好的晶体结构,提高了热导率,可用于半导体芯片基础材料,缓解因半导体芯片尺寸缩小,电流密度增大而带来的温度升高。

 

        


尚澜氦业科技有限公司

①同位素:

氦3、碳13、氮15、氧18、硼10/11,氘气、重水、氘代、氪氖氙同位素、金属同位素、同位素混合气

 

②稀有气体:

氦气、氖气、氪气、氙气、液氦

 

③碳氢气体:

甲烷、乙烷、丙烷、正/异丁烷、乙烯、丙烯、正戊烯、乙炔……

 

④高纯气体:

氟化氢、氯化氢、硫酰氟、羰基硫、氨气、CF4、SF6、SO2、CO、CO2、NO、N2O、NO2、N2O4……

 

⑤超纯气体

⑥标准气体、混合气

⑦氦气回收系统

 

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